Waferpedia
Waferpedia
/
Aixtron
/
Aixtron AIX G 5 WW EPI
Tool family
Aixtron AIX G 5 WW EPI
Aixtron
·
Deposition
·
1 entry
LinkedIn
X
Email
Copy link
Models in this family
AIX G 5 WW EPI
The Aixtron AIX G 5 WW EPI is an epitaxial silicon deposition system.